Многофункциональный измерительный комплекс на базе оптоволоконного спектрометра AvaSpec-2048-USB2 (Avantes B.V., Голландия. 2009г.)
Многофункциональный измерительный комплекс для измерения толщины тонких плёнок и пластин.
Технические характеристики:
Диапазон измерения толщин – 10нм – 50мкм;
Разрешение по толщине пленки – 1нм;
Диапазон длин волн для измерений – 178-1100 нм;
Разрешение оптическое – 2,4 нм.
Детектор – CCD линейная матрица, 2048 пикселей.
|