Многофункциональный измерительный комплекс на базе оптоволоконного спектрометра  AvaSpec-2048-USB2 (Avantes B.V., Голландия. 2009г.)

Многофункциональный измерительный комплекс для измерения толщины тонких плёнок и пластин.

 

Технические характеристики:

Диапазон измерения толщин – 10нм – 50мкм;

Разрешение по толщине пленки – 1нм;

Диапазон длин волн для измерений – 178-1100 нм;

Разрешение оптическое – 2,4 нм.

Детектор – CCD линейная матрица, 2048 пикселей.